在真空应用中，不少工业领域，如化工ag体育客户端、电子半导体工业等，真空系统会抽除大量的有化学活性ag体育客户端、腐蚀性ag体育客户端、磨蚀性的气体。这些介质气体的存在会要求真空泵等设备在运行中有更高的可靠性。那这类危险气体典型的都有哪些？

1ag体育客户端、氧气（O2），易燃，促进爆炸。

2、氢气（H2），在空气ag体育客户端、氧、氯等气体中易燃易爆ag体育客户端。

3、氨气（NH3）ag体育客户端，无色有强烈的刺激气味，不易燃，有毒，可灼伤人体皮肤、眼睛、呼吸器官粘膜，吸入过多会引起肺肿胀以至死亡。

4、氯化铵（NH4Cl）ag体育客户端，易结块，水溶液呈弱酸性，加热时酸性增强ag体育客户端，对黑色金属其它金属有腐蚀性ag体育客户端，对铜腐蚀更大，同时还具有磨蚀性，可产生重粒子污染ag体育客户端ag体育客户端。

5ag体育客户端、砷化氢（AsH3），无色剧毒可燃ag体育客户端，半导体工业中广泛使用。

6、三氯化硼（BCl3），无色发烟有刺激性酸味，对人与环境有害，对真空泵以及油封泵的泵油具有腐蚀性。

7、三氟化硼（BF3），无色有毒腐蚀性气体，对真空泵及油封泵的泵油具有高腐蚀性。

8、四氯化碳（CCl4），也就是R14ag体育客户端ag体育客户端，不燃，有毒，可产生烃油聚合物，会对真空泵油产生污染ag体育客户端。

9ag体育客户端、四氟化碳（CF4），一种卤代烃，无色无味不燃，但在等离子环境中能形成HF。

10、氯气（Cl2）ag体育客户端ag体育客户端，有毒并具有强烈的刺激味，能产生烃油聚合物ag体育客户端，与氢混合可发生爆炸。

11、二氯甲硅烷（SiH2Cl2），无色ag体育客户端、易燃和有毒，遇水能生成盐酸。

12ag体育客户端、氯化氢（HCl），水溶液就是盐酸，无色有窒息性的气味ag体育客户端，不易燃，具有腐蚀性。

13、氟化氢（HF），无色有刺激性气味ag体育客户端，具有很强的腐蚀性ag体育客户端ag体育客户端。液态的HF是酸性非常强ag体育客户端，可质子化硫酸与硝酸，极易挥发遇水激烈放热形成氢氟酸ag体育客户端，操作时需特别注意。

14、二氧化氮（NO2），黄褐色液体或棕红色气体，具有强烈毒性，与水反应生成硝酸和一氧化氮。

15、氧化二氮（N2O），也就是俗称的“笑气”，无色有甜味气体，是一种氧化剂，可助燃ag体育客户端。

16、磷化氢（PH3），无色、剧毒、易燃ag体育客户端，微溶于水并呈弱碱性。

17、硅烷（SiH4），一种提供硅组分的气体源，易在空气中燃烧。

18、二氧化硅（SiO2），主要是有很强的磨蚀性。

19、四氮化硅（SiN4）ag体育客户端，可产生微粒污染ag体育客户端。

20、四氯化硅（SiCl4），无色透明液体，纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色ag体育客户端，有窒息性气味，在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢，在等离子体中可产生氯化物。

21、四氟化硅（SiF4），无色ag体育客户端、有毒ag体育客户端、有刺激性臭味的气体，在空气中可分解形成氧化硅。

22ag体育客户端、三氯氟化甲烷（CCl3F）ag体育客户端，即R13ag体育客户端，无色液体或气体ag体育客户端，有醚味，对水体及大气产生破坏，可产生烃油聚合物。

这些气体或反应生成物ag体育客户端，在真空系统中当达到一定浓度是都是危险的，因此在处理与抽除时都需要特别小心！