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                          真空系统中常要注意的危险气体有哪些

                          发布日期:2020-07-27 作者: 点击:

                          在真空应用中,不少工业领域,如化工ag体育客户端、电子半导体工业等,真空系统会抽除大量的有化学活性ag体育客户端、腐蚀性ag体育客户端、磨蚀性的气体。这些介质气体的存在会要求真空泵等设备在运行中有更高的可靠性。那这类危险气体典型的都有哪些?

                          水杯真空泵系统

                          1ag体育客户端、氧气(O2),易燃,促进爆炸。

                          2、氢气(H2),在空气ag体育客户端、氧、氯等气体中易燃易爆ag体育客户端。

                          3、氨气(NH3)ag体育客户端,无色有强烈的刺激气味,不易燃,有毒,可灼伤人体皮肤、眼睛、呼吸器官粘膜,吸入过多会引起肺肿胀以至死亡。

                          4、氯化铵(NH4Cl)ag体育客户端,易结块,水溶液呈弱酸性,加热时酸性增强ag体育客户端,对黑色金属其它金属有腐蚀性ag体育客户端,对铜腐蚀更大,同时还具有磨蚀性,可产生重粒子污染ag体育客户端ag体育客户端。

                          5ag体育客户端、砷化氢(AsH3),无色剧毒可燃ag体育客户端,半导体工业中广泛使用。

                          6、三氯化硼(BCl3),无色发烟有刺激性酸味,对人与环境有害,对真空泵以及油封泵的泵油具有腐蚀性。

                          真空系统气体

                          7、三氟化硼(BF3),无色有毒腐蚀性气体,对真空泵及油封泵的泵油具有高腐蚀性。

                          8、四氯化碳(CCl4),也就是R14ag体育客户端ag体育客户端,不燃,有毒,可产生烃油聚合物,会对真空泵油产生污染ag体育客户端。

                          9ag体育客户端、四氟化碳(CF4),一种卤代烃,无色无味不燃,但在等离子环境中能形成HF。

                          10、氯气(Cl2)ag体育客户端ag体育客户端,有毒并具有强烈的刺激味,能产生烃油聚合物ag体育客户端,与氢混合可发生爆炸。

                          11、二氯甲硅烷(SiH2Cl2),无色ag体育客户端、易燃和有毒,遇水能生成盐酸。

                          12ag体育客户端、氯化氢(HCl),水溶液就是盐酸,无色有窒息性的气味ag体育客户端,不易燃,具有腐蚀性。

                          13、氟化氢(HF),无色有刺激性气味ag体育客户端,具有很强的腐蚀性ag体育客户端ag体育客户端。液态的HF是酸性非常强ag体育客户端,可质子化硫酸与硝酸,极易挥发遇水激烈放热形成氢氟酸ag体育客户端,操作时需特别注意。

                          水杯真空泵系统

                          14、二氧化氮(NO2),黄褐色液体或棕红色气体,具有强烈毒性,与水反应生成硝酸和一氧化氮。

                          15、氧化二氮(N2O),也就是俗称的“笑气”,无色有甜味气体,是一种氧化剂,可助燃ag体育客户端。

                          16、磷化氢(PH3),无色、剧毒、易燃ag体育客户端,微溶于水并呈弱碱性。

                          17、硅烷(SiH4),一种提供硅组分的气体源,易在空气中燃烧。

                          18、二氧化硅(SiO2),主要是有很强的磨蚀性。

                          19、四氮化硅(SiN4)ag体育客户端,可产生微粒污染ag体育客户端。

                          真空介质气体

                          20、四氯化硅(SiCl4),无色透明液体,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色ag体育客户端,有窒息性气味,在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢,在等离子体中可产生氯化物。

                          21、四氟化硅(SiF4),无色ag体育客户端、有毒ag体育客户端、有刺激性臭味的气体,在空气中可分解形成氧化硅。

                          22ag体育客户端、三氯氟化甲烷(CCl3F)ag体育客户端,即R13ag体育客户端,无色液体或气体ag体育客户端,有醚味,对水体及大气产生破坏,可产生烃油聚合物。

                          这些气体或反应生成物ag体育客户端,在真空系统中当达到一定浓度是都是危险的,因此在处理与抽除时都需要特别小心!

                          本文网址:http://www.kantabai.com/news/471.html

                          相关标签:水杯真空泵系统,真空系统气体,真空介质气体

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